一﹑产品规格: 铟.锡氧化物(ITO)靶
1. 产品主要用途
真空磁控溅射制备ITO导电玻璃及柔性ITO导电膜
2. 产品的物理及化学特性
2.1 化学式: In2O3/SnO2
2.2 外观: 黑色块状陶瓷
2.4 晶粒度: 5~15μm
2.5 相对密度: ≥99.5%
2.6 电阻率: <1.2×10-4Ω·cm
2.7 热胀系数: 5.8×10-6K-1
2.8 杂质含量(单位:ppm)
元素名称 Al Sb Cd Cu Fe Pb Ni Si Zn Ba 含量(≤) 5 5 5 10 10 10 10 15 5 5 |
3. 产品检测方法
3.1 晶粒度:扫描电镜(SEM)观察;
3.2 纯度:ICP—AES分析测试杂质含量;
3.3 密度:排水法;